退火真空爐的內熱場結構由支撐構件固定在真空退火爐殼體內，溫控結構由多個帶全金屬屏的圓柱組成，包括水冷電極、絕緣陶瓷件、控制熱電偶，保溫層和加熱元件。

　　水冷電極通過鉬螺釘與真空退火爐中的加熱元件連接，水冷電極與真空退火爐的接觸面上設有密封圈，該電極與真空退火爐的接觸面水冷，還設有絕緣套圈，加熱元件的外表面設有絕緣層，水冷電極和真空退火爐通過密封法蘭固定，水冷電極插入絕緣層的部分由絕緣瓷制成，控溫熱電偶穿過真空退火爐的外殼和絕緣層，伸入溫控結構的中心。

　　密封圈是真空橡膠圈或聚四氟乙烯環，絕緣套圈是云母套圈，發熱元件為鉬帶，在每個全金屬絲網圓柱中軸向布置三組發熱元件，每組發熱元件軸向分布4次。

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